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多晶圭廢氣凈化方案
2014-03-10 17:00:09 來源：朱海峰多晶圭廢氣凈化方案一、廢氣污染源工況硅料酸洗車間需用硝酸和氫氟酸對(duì)多晶硅進(jìn)行清洗，多晶硅酸洗廢氣主要為HF、HCL、氮氧化合物。二、凈化工藝凈化工藝有：液體中和固體吸附法。液體中和吸收法主要是利用酸堿中和原理對(duì)HF、HCL、氮氧化合物進(jìn)行凈化。固體吸附法是采用吸附的原理對(duì)HF、HCL、氮氧化合物進(jìn)行吸附吸收，吸附劑為活性炭。三、我們的凈化方案針對(duì)多晶硅酸洗廢氣特點(diǎn)，結(jié)合我們給老客戶的廢氣處理工程實(shí)踐經(jīng)驗(yàn)和客戶運(yùn)行經(jīng)驗(yàn)，摸索出一套針對(duì)單晶硅酸洗廢氣的排風(fēng)凈化工藝和設(shè)備。酸洗廢氣采用多級(jí)串聯(lián)吸收方式吸附凈化。1、凈化工藝流程圖（見附圖1）
2、凈化工藝簡(jiǎn)介凈化流程采用濕法和干法相結(jié)合多極凈化方式。廢氣首先進(jìn)入*級(jí)填料塔，吸收溶液為3%氫氧化鈉，對(duì)含HF、HCL、氮氧化合物廢氣進(jìn)行初步吸收，合理控制氣液接觸時(shí)間。經(jīng)初步吸收后的廢氣進(jìn)入第二級(jí)填料塔，吸收溶液為3%氫氧化鈉，在第二級(jí)填料塔后安裝高效除濕裝置，祛除水汽。脫水后的廢氣進(jìn)入干式吸收塔，吸收塔內(nèi)為活性炭吸附劑。*、二級(jí)填料塔中的廢水經(jīng)管道排入污水處理站，干式吸收塔的吸附劑飽和后更換，廢吸附劑作為無害垃圾可用于填坑或修路等，無二次污染。五、設(shè)備參數(shù)
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